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场发射扫描电子显微镜（FESEM）是一种高分辨率的显微镜技术，它利用场发射电子源产生高亮度、高密度的电子束，通过电子光学系统聚焦到样品表面，激发出样品表面的各种信号，如二次电子、背散射电子、X射线等，从而获得样品表面的高分辨率图像和成分信息。
FESEM的特点包括：
1. 高分辨率：FESEM能够提供非常高的成像分辨率，例如，地科院热场发射扫描电子显微镜（ZEISS, Sigma 500）的极限分辨率可达0.8 nm@15kV和1.6 nm@1kV 。
2. 广泛的适用性：FESEM适用于干燥的固体样品，且对样品的包容性较强，大多数干燥且导电的固体样品无需特殊制备过程 。
3. 多样的应用领域：FESEM广泛应用于材料科学、地球科学、生命科学等领域，用于微观结构的观测、微区元素分析、材料晶体学表征和原位变温实验等 。
4. 先进的自动化功能：一些FESEM型号如日立的SU8700配备了自动化功能，如EM Flow Creator，允许用户创建自动化工作流程，提高实验效率 。
5. 高像素成像：FESEM能够进行大视野和高像素成像，单次扫描像素最高可达 40,960 x 30,720 。
与传统的扫描电子显微镜（SEM）相比，FESEM通常具有更高的分辨率、更大的景深和更强的信号稳定性。例如，日立的SU8700型号在0.1 kV的低加速电压下仍可进行高分辨观察，适应更多应用场景 。
FESEM的这些特性使其成为材料科学、生物学、环境科学等领域科研工作的重要工具。
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