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电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是一种高灵敏度的分析技术，它结合了电感耦合等离子体的高温电离特性与质谱计的灵敏快速扫描的优点。这种技术在20世纪80年代发展起来，广泛应用于无机元素和同位素的分析测试。
ICP-MS的主要特点包括：
- 灵敏度高，可以检测到极低浓度的元素。
- 速度快，能在几分钟内完成多个元素的定量分析。
- 谱线简单，相对于光谱技术干扰较少。
- 线性范围宽，可达7至9个数量级。
- 样品制备和引入相对简单。
- 既可以用于元素分析，也可以进行同位素组成的快速测定。
- 测定精密度高，相对标准偏差可达到0.1%。
ICP-MS的应用范围非常广泛，包括地矿、环境、生物、食品、土壤、水样、金属材料、高分子材料、电子产品、化工产品等不同类型基质样品的痕量、超痕量金属元素、类金属元素、部分非金属元素的定性和定量分析及同位素比测定。
市面上有多个品牌的ICP-MS仪器，例如：
- Thermo Fisher Scientific生产的iCAP Qc，具有宽动态线性范围、高灵敏度等特点，质量范围为2~290 amu，动态线性范围为10^9，具有多种元素的低检出限 。
- Agilent 7900 ICP-MS，提供出色的基质耐受性、有效的氦碰撞模式、超低的检测限和宽广的动态范围，适用于单纳米颗粒、单细胞分析和激光剥蚀等要求苛刻的应用 。
- Thermo Scientific提供的ICP-MS仪器，包括SQ-ICP-MS、TQ ICP-MS/MS、HR-ICP-MS和MC-ICP-MS等，它们具有不同的干扰消除能力和分析速度，适用于不同的应用领域和样品类型 。
ICP-MS技术因其高灵敏度和快速分析能力，在现代分析化学领域中扮演着重要角色。
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